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芯片封装技术工艺流程氮气烘箱预热
来源: | 作者:上海隽思半导体设备部节选等离子活化应用合集 | 发布时间: 2025-12-30 | 31 次浏览 | 分享到:

  封装工艺流程作为衔接芯片制造与系统集成的核心纽带,其精细化管控与技术创新直接影响半导体产品的性能、可靠性与成本竞争力。

 当前,芯片制造与封装通常分处不同地域甚至国家,跨区域协同成为常态。芯片在硅片工艺线完成晶圆级测试后,缺陷芯片以墨点标记,供后续自动拾片机精准识别,确保封装良率。

  封装流程以塑料封装为主线,划分为前段操作与后段操作:前段在1000级净化环境完成芯片贴装、互连及预成型,涉及硅片减薄至50-100μm以适应薄型封装需求,切割采用激光隐切技术减少芯片破损,贴装通过倒装芯片(FC)或贴片胶实现精准定位,互连则采用金线、铜线或凸点工艺,其中铜线键合因成本优势逐步替代金线,而凸点工艺结合微凸点与TSV技术,为3D集成奠定基础。

芯片封装技术工艺流程

  后段操作涵盖转移成型、去飞边、切筋成型、上焊锡及激光打码,其中转移成型作为主流技术,通过氮气烘箱预加热塑封料至90-95℃,在170-175℃下经转移罐挤压注入模腔,经保压固化后形成致密封装体,后续固化炉处理进一步提升材料稳定性,

  氮气烘箱用于PI、BCB、LCP固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求适合半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求,广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。