光刻胶(烤箱),转印芯片电路的媒介
当制备好的晶圆经过氧化处理后,便进入了芯片前道工艺的光刻工序,大家应该都知道光刻机,如果将光刻机比作芯片行业的引擎,那么光刻胶就是助推引擎的燃料。
光刻胶(烤箱)就是图中橙色的部分,也有人将其称为光阻剂。光刻胶分为正胶和负胶,正胶经过曝光后会溶解于显影液,负胶则是相反的。按照曝光光源的波长分类,光刻胶分为g线,i线,KrF,ArF以及EUV光刻胶,由左到右,光刻胶对应的曝光波长逐渐变短,先进的EUV光刻胶对应曝光波长只有13.5nm,可用于10nm以下的芯片制程,但目前EUV光刻机只有荷兰ASML能制造。
光刻胶的组分一直是国外厂商的机密,很难通过逆向解析的手段还原。一般而言,光刻胶的组分包括光引发剂,树脂基体,单体以及助剂。当光刻胶经过紫外光照射后,发生一系列的物理化学变化,电路图形就从掩膜版上转移到光刻胶上面,经过刻蚀后,晶圆片上就形成了对应的图案。