就

是

对

待

工

作

的

态

度

，


个产品，

对待每一

做到极致认真

每一个零件
细
致

每一组数据

  • 智能型HMDS真空系统（JS-HMDS90-AI）
  • 洁净烘箱，百级无尘烘箱
  • 氮气烘箱，精密充氮烘箱
  • LCP热处理烘箱，LCP纤维氮气烘箱
  • 热风循环真空烘箱，高温热风真空烤箱
  • HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )
  • 智能型无尘无氧烘箱（PI烤箱）
  • 真空无氧固化炉，高温无氧烘箱
  • 精密烤胶台，高精度烘胶机
  • 超低温试验箱，零下-120度高低温箱
 
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选择HMDS烘箱注意事项
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2020-04-13 | 991 次浏览 | 分享到:

  1. 选择HMDS烘箱的容积

    内腔尺寸：450*450*450mm，1-8寸片均适用，4寸晶圆可处理200P/次；

  2. HMDS烘箱真空泵的选择

    根据腔体容积，选配合适型号的真空泵。常用涡旋式真空泵又分为油泵和干泵。


◆ 全无油泵，不会污染真空系统
◆ 采用独立马达与轴承的密封设计
◆ 体积小巧 
◆ 具有更低的极限压强
◆ 无任何可能造成灾害性系统故障的机械部件

◆ 低噪声，低振动

3.HMDS烘箱辅助功能选择：

◆HMDS药液泄漏报警提示功能

◆HMDS低液位报警提示功能

◆工艺数据记录功能

◆药液管道预热功能 

◆程序锁定保护等功能


   HMDS烘箱也称为智能型HMDS真空系统通过对箱体内预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层 HMDS，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。