就
是
对
待
工
作
的
态
度
,
个产品,
做到极致认真
每一组数据
新 闻 动 态
NEWS
1、设备名称
HMDS涂胶机
2、设备型号
JS-HMDS90
3、设备主要技术参数
3.1 内腔尺寸
450×450×450(mm)可选其他数据
3.2 材质
外箱采用优质冷轧板喷塑、304不锈钢,内箱采用316L医用级不锈钢
3.3 温度范围
RT+10-200℃
3.4 温度分辨率
0.1℃
3.5 温度波动度
≤±0.5
3.6 真空度
≤133pa(1torr)
3.7 洁净度
class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境
3.8电源及总功率
AC 22±10% / 50HZ 总功率约2.5KW
3.9 控制仪表
人机界面
3.10搁板层数
2层
3.11 HMDS控制
可控制HMDS药夜添加量
3.12真空泵
油泵、干泵