HMDS涂胶烤箱，MES接口hmds涂布机简介：

      HMDS涂胶烤箱的主要作用是对晶圆做表面处理，以增加光阻在晶圆表面的附着力。当晶圆送到黄光区时，表面可能有含水层，高温烘烤后去除水气，同时经过HMDS制程改变晶圆表面从极性到非极性，将晶圆表面的表面能被调整到与光阻表面相当的程度，从而使光阻可以很好的附着在晶圆表面。

       首先加热到100℃-200℃，去除硅片表面的水分，然后HMDS与表面的OH一反应，在硅片表而生成硅醚，消除氢键作，从而使极性表面变成非极性表面。整个反应持续到空间位阻(三甲基硅烷基较大)阻止其进一步反应。

HMDS涂胶烤箱，MES接口hmds涂布机特点：

1.HMDS是气相涂布在硅片表面，也就是硅片在高温环境HMDS的蒸汽中放置；

2.在显影过程中无需去除硅片表面的HMDS层；

3.在HMDS上面滴光刻胶甩涂时，光刻胶内的溶剂不会破坏HMDS层；

4.多余的HMDS蒸汽（尾气）将由真空泵抽出，排放到专用废气收集管道；

5.所有制程都在密闭的腔体内完成，操做是不会接触到HMDS蒸汽；

6.可保存多个产品制程，制程工艺一键完成，无需值守人员。
7.MES智能系统 7.1 MES接口,可连接MES系統 7.2 管理生产单元有关的记录和表格，包括工作指令、配方、工程图纸、标准工艺规程、零件的数控加工程序、批量加工记
录、工程更改通知以及班次间的通讯记录，并提供了按计划编辑信息的功能。 7.3 能通过数据采集接口来获取生产单元的记录和表格上填写的各种作业生产数据和参数。 7.4 提供工件在任一时刻的位置和状态信息。其状态信息可包括：进行该工作的人员信息；按供应商划分的组成物料、产品
批号、序列号、当前生产情况、警告、返工或与产品相关的其它异常信息。 7.5 以作业、订单、批量、成批和工作单等形式管理生产单元间工作的流动。

HMDS涂胶烤箱技术指标：

1.设备型号：   JS-HMDS90（AI）                                                          
2.工作室尺寸（mm）： 450×450×450，650*650*650,800*800*800,1200*1000*1200 可自定
3 外形尺寸：  根据内腔尺寸变化
4. 材质：外箱采用优质冷轧板喷塑或不锈钢，内箱采用316L医用级不锈钢
5. 温度范围 ：RT+10-250℃ 
6. 温度分辨率 ：0.1℃
7. 温度波动度： ≤±0.5
8. 真空度： ≤133pa（1torr）
9. 洁净度 ：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
10.电源及总功率  ：  AC 220V±10% / 50HZ       总功率约3.0KW    
11. 重量： 约180KG
12. 控制仪表 ：人机界面
13.搁板层数 ：2层
14. HMDS控制 ：可控制HMDS药夜添加量
15.真空泵：旋片式油泵或干泵
16. 保护装置    HMDS药液泄漏报警装置，HMDS自动添加，超温保护，漏电保护，过热保护等