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SECS / GEM在半导体行业中的作用
来源: | 作者:上海隽思半导体制程设备部 | 发布时间: 2018-04-20 | 728 次浏览 | 分享到:
        SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中,接口可以启动和停止设备处理,收集测量数据,更改变量并为产品选择配方。 SECS(SEMI设备通信标准)/ GEM(通用设备模型)标准以确定的方式完成所有这些工作。  由SEMI(半导体设备和材料国际)组织开发,该标准定义了一套通用的设备行为和通信能力。  
      通用和控制制造设备(GEM)标准的通用模型由非营利组织半导体设备和材料国际(SEMI)维护和发布。一般来说,SECS / GEM标准定义了消息,状态机和场景,以使工厂软件能够控制和监控制造设备。 GEM标准正式指定并称为SEMI标准E30,但通常简称为GEM或SECS / GEM标准。
为支持半导体设备制造商的制造自动化程序提供功能性和灵活性, GEM是SECS-II标准SEMI标准E5的标准实施。半导体(前端和后端),表面安装技术,电子组件,光伏,平板显示器和其他制造行业中的许多设备在制造设备上提供GEM / SECS接口,以便工厂主机软件可以与机器通信用于监视和/或控制目的。由于GEM标准是用很少的半导体特性编写的,因此它可以应用于任何行业的几乎任何自动化制造设备。  
      所有符合GEM的生产设备都具有一致的界面和一定的行为。 GEM设备可以使用TCP / IP(使用HSMS标准,SEMI E37)或基于RS-232的协议(使用SECS-I标准,SEMI E4)与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息进行监控和控制。  还有许多额外的SEMI标准和工厂规范参考了GEM标准的特点。这些附加标准是特定行业或特定设备类型。
      半导体前端 半导体前端行业定义了一系列称为GEM300标准的标准,其中包括SEMI标准E40,E87,E90,E94和E116,并参考E39标准。每个标准都为GEM界面提供了额外的功能,但基于GEM E30标准中的功能。全球300毫米工厂使用底层GEM标准的数据采集功能,以监测特定设备活动,如晶圆移动和工艺作业执行。为了实现制造自动化,几乎每个300mm晶圆制造工具都需要SECS / GEM标准和额外的GEM300标准
半导体后端产业中的众多设备实施了GEM标准,其他标准已经实施,例如测试专用设备型号的SEMI E122标准和处理器设备专用设备型号的SEMI E123标准。 表面贴装技术 表面贴装技术行业的许多设备都支持GEM标准,包括芯片贴装,焊膏,烤箱和检测设备。