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百级洁净烘箱FFU更换注意事项
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2024-08-07 | 131 次浏览 | 分享到:

百级洁净烘箱更换高效过滤器

在更换FFU高效过滤器时,‌需要注意以下几点:‌

测量FFU高效过滤器和初效过滤器的规格及尺寸,‌确保新过滤器的尺寸与原过滤器相匹配。‌

清洁FFU机箱内及周围粘附的灰尘,‌在安装新过滤器前,‌这是为了防止灰尘影响过滤器的性能和寿命。‌

安装完毕后,‌对过滤器进行检漏工作,‌确保没有泄漏,‌保证烘箱内的洁净度。‌

根据使用环境的洁净度,‌注意高效过滤器是不可清洗的,‌需要定期检查洁净区域的洁净度,‌当实测的洁净度与要求的洁净度不符时,‌应查明原因并替换新的高效过滤器。‌

在替换过滤器时应停机进行,‌避免运行中的设备损坏新安装的过滤器。‌

在拆箱、‌搬运及安装取用时,‌禁止用手触及滤纸造成破损,‌安装前应仔细检查高效过滤器是否因运输等原因出现破损。‌

通过上述步骤,‌可以确保百级洁净烘箱FFU的更换工作顺利进行,‌同时保证烘箱内的洁净度和安全性。

百级洁净烘箱技术性能

洁净度:Class100;     

温度:RT+15~200℃;
气体:N2 

计时功能:0-99H99M99S 

设备材质:内部SUS304不锈钢           

工作尺寸(mm):

450×450×450

500×500×550

(可定制)          

网板:活动式2块

百级洁净烘箱适用性:

洁净烘箱适用于前烘、坚膜、IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、MEMS、医药、实验室等生产及科研.