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双腔式PI固化炉的优点
来源: | 作者:隽思环境半导体设备部 | 发布时间: 2023-10-26 | 142 次浏览 | 分享到:

双腔式PI固化炉操作步骤

      双腔式PI固化炉即具有两个工作室的PI固化炉,可同时运行也可独立操作。不仅具有单腔固化炉的所有功能,而且还能够使用不同的生产工艺。

排气等管道合二为一,节约能源,更加环保;

双腔式占地面积更小,节约空间;

还可批量生产,提高生产效率;

自动化控制,减少操作人员,降低生产成本;

双腔式PI固化炉用途

应用于精密电子元件、PI/CPI/PBO/BCB胶高温固化烘烤、LCP纤维热处理、硅片退火固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于MEMS制造、集成电路制造、触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、第三代半导体、太阳能、新材料等行业.

双腔式PI固化炉定制要求

单腔尺寸:W500mm×500mm×H550mm(可指定尺寸)

材质:内箱采用耐高温SUS304不锈钢,外箱采用优质冷轧板喷塑(可指定其他)

温度范围:RT+50~300/450℃  

洁净度:Class100(可选)

升温方式:阶梯升温,可编辑多个升温时间

降温方式:水冷、风冷

氧含量:氧含量≤20ppm  

操作界面:彩色触摸式人机界面

操作方式:一键运行

真空度:100pa(可选)