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真空和非真空的高温无氧烘箱(520)
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2022-05-20 | 189 次浏览 | 分享到:

高温无氧烘箱技术参数 :                                   

工作室尺寸:W800mm×800mm×H800mm

材质:内箱采用优质耐高温SUS304不锈钢,外箱采用优质冷轧板喷塑,

温度范围:RT+50-450℃

温度分辨率:0.1℃

温度波动度:≤±1℃

温度均匀度:≤1.5%℃

洁净度:使用环境同等级,可选百级(class100)无尘

升温速度:0-10℃/min

降温方式:自然降温或辅助降温(降温速率约4℃/min)

氧含量:≤20ppm  

彩色触摸屏操作,可程式/定值运行

样品架:2-4层不锈钢冲孔样品架


高温无氧烘箱用途:

用于精密电子元件、银胶固化、PI/BCB/BPO胶高温固化烘烤、光刻胶固化、晶圆退火电子陶瓷材料防氧化烘干、测试的特殊工艺要求。


高温真空无氧烘箱

高温真空无氧烘箱技术参数
温度范围: RT ~300/450℃;可定制
温度波动度:≤±1℃,
升温速度:0-10℃/min;
降温方式:自然降温或风冷+水冷降温
氮气控制: 可调试流量计控制
氧含量检测:20~1000ppm
工作尺寸: W350×H350×D350,

       W450×H450×D450,

       W600×H600×D600可定制
高温真空无氧烘箱结构
箱体材料:外箱采用优质冷轧板烤漆;
内室材料:采用316L医用级不锈钢;
保温材料:超细陶瓷纤维;
排 气 口:有
真空泵:涡旋干泵