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充氮真空无氧烘箱的原理
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2023-07-04 | 255 次浏览 | 分享到:

1.充氮真空无氧烘箱的原理,其原理通过外接氮气置换装置,使箱体内达到无氧真空状态,提供无氧洁净的固化环境。

2.充氮真空烘箱热量利用的比较充分,专为干燥热敏性、易分解等物质而设计,能够向内部充入惰性气体,特别是一些成分复杂的物品也能进行快速干燥;使用容积比较大,微电脑温度控制器,控温比较准确;

3.真空充氮烘箱是一种利用真空厌氧固化的设备,它可以在无氧的环境下对一些特殊的胶水进行快速固化,适用于半导体芯片、电子元器件、医疗器械等领域。

4.充氮真空无氧烘箱的热处理,通过真空抽出空气及杂质气体,真空度根据不同的工艺要求,需要达到100pa,甚至50pa以内,然后通过充入高纯洁净氮气数次循环后达到无氧环境,20或者10ppm以下,再根据预先设置的recipe升温,真空+氮气补偿,恒温,降温等工艺过程。

5.充氮真空烘箱的优势和特点是在负压工作状态下,在氧含量少的情况下可以杜绝氧化反应先进行抽离真空再充氮气加热,这样可以减少氧化,再负压状态下产品固化效率也不相同,产品质量更加优质。


      充氮真空无氧烘箱也称为真空无氧烤箱、厌氧炉、真空固化炉等,用于半导体/第三代半导体/新材料/新能源等行业。BCB、PI、CPI、PBO胶固化,LCP新材料、锂电池等产品热处理。