HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱无油泵

真空干泵具有 静音<50dBA)和低振动运行的，

密封设计(真空区与电机和轴承全隔开) 可提供洁净的泵内气体环路;从而消除了油或油脂带来的污染风险。

极限压力：1.33 x 102 mbar (1 x 102Torr)

最大入口压力：1.0 个大气压(0 psig)

冷却 方式：风冷

泵净重: 34 q (75 bs);含包装: 45 kg(100bs)

尺寸 (高x宽x长(mm))：364x 333x 485

泄漏速度(密封排气口时)：< 1 x 10° sccs (1 x 10 mbar.l/s)

HMDS烘箱真空泵，HMDS烘箱无油泵用途

HMDS烘箱的作用

   HMDS烘箱是将HMDS蒸汽通过干燥的真空腔内加热到一 定温度，在衬底表面上HMDS作为单层膜进行化学结合，使这样的衬底表面具有疏水性。从而增强光刻与衬底表面的粘附性。

HMDS烘箱性能

温度范围：RT+10-250℃

真空度：≤1torr

控制仪表：彩色触摸屏控制，操作更加简单，方便

HMDS工艺：蒸汽气相涂布

安全检测：超温保护，HMDS泄漏检测提示

储液瓶：HMDS储液瓶

真空泵：无油涡旋真空泵

工作室（mm）：300*300*300/450*450*450、定制