前烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱用途
前烘可在热烘板或氮气烘箱中进行,本课题采用的热风烘箱为隽思氮气洁净烘箱,由于在鼓风烘箱中对流烘烤将会使前烘进行的更加均匀,所以在鼓风箱中前烘的效果将会更理想。
前烘是在涂胶结束后进行,它的作用有以下几个方面
驱赶胶中的溶剂
提高胶对衬底的黏附性
提高胶的抗腐蚀能力
优化胶的光学吸收特性
提高涂胶的均匀性
提高条宽控制能力
通过前烘,基片上的光刻胶基本固化。
前烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱性能:
洁净度:Class100;
温度:RT+15~200℃;
气体:N2
计时功能:0-99H99M99S
设备材质:内部SUS304不锈钢
工作尺寸(mm):
450×450×450
500×500×550
(可定制)
网板:活动式2块
前烘氮气烘箱,硬烘洁净烘箱适用性:
氮气烘箱也适用于IC封装、光刻胶固化、银胶固化、电子液晶显示、LCD、CMOS、MEMS、医药、实验室等生产及科研.