无氧烘箱，光刻胶固化烘箱应用工艺

   无氧烤箱应用于精密电子元件、PI胶固化烘烤、BCB固化，光刻胶固化、LCP液晶聚合物热处理、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求，模拟线性升降温环境，特别适合集成电路/半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求，广泛应用于生产企业、高等院校、科研等场所。

无氧烘箱，光刻胶固化烘箱特点

精度高，可调整；

温度稳定性强，可重复性高；

大容量，可批量生产；

兼容性好，适用于2--12寸晶圆；

智能化，操作方便，一键运行，无需人工值守；

快速降温，具有辅助降温装置，提高生产效率；

无氧烘箱性能：

温度范围：RT+50～450℃；

内箱尺寸：多尺寸定制；

材质：SUS304/316不锈钢；

氧含量：≤ 20ppm;

数据输出：温度记录/氧浓度记录

保护功能：短路保护、漏电保护、超温保护、电机过电流保护、电磁门禁保护

可选功能：

洁净度：class100

真空度：10pa

自动上下料：机械手

工业自动化：MES/GEM

无氧烘箱使用环境

环境温、湿度5℃～＋35℃，相对湿度：≤85%；

周围无强烈震动；    

无阳光直接照射或其它热源直接辐射，

周围无强烈电磁场影响；

周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质；