真空无氧固化炉,高温无氧烘箱简介
真空无氧烘箱是一种提供高温、低氧、洁净环境的特殊制程设备。烘箱内部为不锈钢结构,全部采用无尘材料,箱内可充氮、真空,使烘箱工作室内处于低氧、洁净状态。工作室内温度由温控仪自动控制,并有自动恒温及时间控制装置,曲线升温、恒温、快速降温。并附设有超温断开加热、氧含量检测、辅助降温装置及报警电路,控制可靠,使用安全。
真空无氧烘箱用于PI胶、BCB胶固化,键合材料预处理,ITO膜退火,PR胶排胶固化等特殊工艺。适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半导体封装、医药、实验室等生产及科研部门。
真空无氧固化炉,高温无氧烘箱技术参数
温度范围: RT ~300/450/550℃;
温度波动度:≤±1℃
升温速度:0-10℃/min;
降温方式:自然降温或风冷+水冷降温
氮气控制: 可调试流量计控制
氧含量检测:20~1000ppm
工作尺寸:W350×H350×D350,
W450×H450×D450,
W600×H600×D600可定制
高温无氧真空烤箱结构:
箱体材料:外箱采用优质冷轧板烤漆;
内室材料:采用316L医用级不锈钢;
保温材料:超细陶瓷纤维;
排 气 口:KF16;
真空泵:涡旋干泵(进口);
高温无氧真空烘箱温控系统:
操作界面:人机界面+PLC,可一键运行,多个工艺编辑;
温度测量:K型热偶;
控制仪表:高精度温度控制器,PID调节,控制精度0.1℃,