个产品,

对待每一

做到极致认真

每一个零件

每一组数据

  • 上海隽思黑蒜机,黑蒜发酵设备通过欧盟认证
  • 隽思仪器HMDS预处理系统,无尘烤箱,无氧烘箱等产品已完全具有SECS/GEM通讯功能
  • 湖北工程学院采购多台上海隽思黑蒜试验机
  • 我公司黑蒜发酵设备走进加拿大市场
  • 上海隽思低温脆性试验机选型标准
  • 橡胶低温脆性试验机与陕西高速公路工程试验检测有限公司合作成功
最新消息
热搜:HMDS烘箱 无尘烤箱 无氧烤箱

产  品  中  心

 products

智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
    发布时间: 2022-05-18 15:22    

智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)用途:

   在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂 HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS气相沉积至半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经系统加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)特点:

HMDS药液泄漏报警提示功能

HMDS低液位报警提示功能

工艺数据记录功能

药液管道预热功能

程序锁定保护等功能

智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)技术性能:

1.尺寸(深*宽*高)

内腔尺寸:450×450×450(mm)(可定制)

外形尺寸:750×1120×1650(mm)

2. 材质:外箱采用优质冷轧板喷塑,内箱采用 316L 医用级不锈钢

3.温度范围:RT+50-200℃

4.温度分辨率:0.1℃

5.温度波动度:≤±0.5

6 真空度:≤133pa(1torr)

7.电源及总功率:AC 220V±10% / 50HZ,总功率约 3.2KW

8.控制仪表:人机界面,一键运行

9.搁板层数:2 层

10.HMDS控制:可控制HMDS 药液添加量

11.真空泵:无油涡旋真空泵