真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱简介：
真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱是一种定制专用真空烤箱。将高纯度氮气充入烤箱内部，从而置换腔内空气降低氧浓度，来防止部分物料在高温环境下加速氧化的现象。烤箱抽取真空后，充入氮气，再抽取真空，多次循环后可以确保烤箱的工作室处于无氧的状态，避免活性较强的物料在高温有氧的环境下被氧化而损坏。
无氧化真空烤箱用于PI胶、BCB胶固化，键合前键合材料的真空处理，ITO膜退火，PR胶排胶固化等特殊工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业，适用于工厂、高等院校、科研等场所。
真空无氧烘箱，无氧化真空烤箱技术指标：
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工作室尺寸（mm）
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450×450×450，600×600×600，可定制
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箱体材质
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内箱采用316L医用级不锈钢，外箱采用优质冷轧板静电喷塑或不锈钢
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温度范围
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RT+10-300/400/500℃
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温度分辨率
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0.1℃
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温度波动度
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≤±1℃
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升温速率
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≤5℃/min
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降温速率
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特殊要求数据
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真空度
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≤133pa或要求数据
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电源
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AC220V、 380V±10% / 50HZ
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控制仪表
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人机界面，可校准温度控制器，PID自整定等功能
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搁板层数
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不锈钢托盘2层或多层
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真空泵
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油泵/干泵自选
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腔门密封圈
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采用耐高温硅橡胶密封圈
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状态指示灯
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配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态
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氧含量
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20PPM，可检测，实时显示
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洁净度
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Class100、1000级
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降温系统
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风冷+水冷
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氮气控制
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可程序自动控制
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安全保护装置
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安全的接地保护装置，超温保护及报警装置，漏电保护装置
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