精密热板，高精度烤胶机简介：
精密热板用于固化光刻胶，固化环氧塑脂，可用于显微镜下使用以及其它需要高精度控温的场合等。在电子、化工等行业的工矿企业、科研、教育等单位，进行热老化、温度试验及干燥、烘焙、消毒和热处理等试验中常见。主要应用于科研实验，用于最大直径φ150mm晶圆或¨150mm方片的烘烤工艺，手动上下料、自动烘烤作业。
精密热板，高精度烤胶机技术参数：
温度加热范围： 50℃-200℃；
表面温度均匀性：
50 ~ 120℃ R≤±0.5℃
121 ~ 150℃ R≤±0.75℃
151 ~ 200℃ R≤±1.0℃；
适用基片尺寸： 4、6寸晶圆及小于150mm方片 ；
温度控制器：P.I.D温度控制，高亮度4位数字LED显示温度 ；
控温精度： 0.1℃；
配置定时器，可编程定时控制
配置真空端口，可使基片和热板紧密接触 ；
惰性气体：可充氮气控制
电源：220V,50/60Hz；；
外形尺寸：350×350×530mm。
