就
是
对
待
工
作
的
态
度
,
个产品,
做到极致认真
每一组数据
产 品 中 心
products
一、真空固化烤箱,防氧化真空系统用途
无氧真空系统用于键合前键合材料的真空处理 、ITO膜退火,PR胶排胶固化等工艺。广泛应用于半导体、电子产品、医疗卫生等行业,适用于工厂、高等院校、科研等场所。
二、真空固化烤箱,防氧化真空系统技术性能参数
1、设备名称: |
|
名称 |
无氧真空系统 |
2、设备型号: |
|
型号 |
JS-GYZF系列 |
3、设备主要技术参数: |
|
3.1 工作室尺寸 |
450×450×450,600×600×600(mm) |
3.2 材质 |
内箱采用316L医用级不锈钢,外箱采用优质冷轧板静电喷塑 |
3.3 温度范围 |
RT+10-300/450℃ |
3.4 温度分辨率 |
0.1℃ |
3.5 温度波动度 |
≤±1℃ |
3.6 温度均匀度 |
≤2%MFS |
3.7 升温速率 |
≤10℃/min |
3.8 降温速率 |
特殊要求数据 |
3.9 真空度 |
≤133pa或要求数据 |
3.10 电源及总功率 |
AC220V、 380V±10% / 50HZ |
3.11 温度控制仪表 |
可编程触摸屏仪表,可校准温度,PID自整定等功能 |
3.12搁板层数 |
316L不锈钢托盘2层,配有限位装置 |
3.13真空泵 |
油泵/干泵 |
3.14 腔门密封圈 |
采用耐高温硅橡胶密封圈 |
3.15 状态指示灯 |
配有三色指示灯及蜂鸣器来提示机台运行状态 |
3.16 氧含量 |
特殊要求数据 |
3.17 洁净度 |
Class100、1000级 |
3.18 降温系统 |
选配 |
3.19 氮气控制 |
工艺要求 |
3.20 安全保护装置 |
安全的接地保护装置,超温保护及报警装置,漏电保护装置。 |