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无尘无氧烤箱,PI胶固化烤箱
    发布时间: 2021-09-26 13:42    

一.无尘无氧烤箱,PI胶固化烤箱概述

  应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

二.无尘无氧烤箱,PI胶固化烤箱技术参数

1.主要技术指标

Ø 材质外箱采用优质不锈钢,内箱采用SUS304不锈钢

Ø 温度范围RT+10-200、400℃

Ø 温度分辨率0.1℃

Ø 温度波动度±1℃

Ø 温度均匀度≤±2%

Ø 洁净度class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

Ø 升温时间5-8℃/min,(空箱测试)

Ø 降温时间可满足130℃-50℃,降温5℃/min(空箱测试)

Ø 氧含量

高温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量

低温状态氧含量:≤ 50ppm +气源氧含量

Ø 数据输出温度和氧含量无纸记录仪

2.系统结构

Ø 热风循环系统:采用覆套式电热器)无尘无氧化电热发生器

Ø 气体系统:HEPA过滤效果可达99.99%,Class100箱体内装有氧含量分析仪

Ø 水冷系统:翅片式水冷散热器,冷却水通过散热器快速带走更多的热量,使得箱内温度快速下降

Ø 温控系统:采用日本RKC-PF900温度控制器,内置斜率设定、PID自整定

Ø 软件系统:控制系统采用日本三菱公司FX3G系列高速型逻辑控制器,可与现场总线联机远程操控

3. 安全保护性能

Ø 报警功能1)三色报警灯  2)超温报警    3)热电偶故障报警   4)低水压报警

Ø 安保功能:1)短路保护

 2)漏电保护

 3)超温保护,独立感温式超温保护器

 4)电机保护,电机过电流、水冷保护

 5)电磁门禁保护,当温度超过100℃,电子锁自动锁紧,防止高温开门

三、无尘无氧烤箱,PI胶固化烤箱安装条件

Ø 环境温、湿度5℃~+35℃,相对湿度:≤85%;

Ø 周围无强烈震动;    

Ø 无阳光直接照射或其它热源直接辐射

Ø 周围无强烈电磁场影响;

Ø 周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质;

Ø 百级洁净车间;

Ø 周围无强烈气流,当周围空气需要强制流动时,气流不应在直接吹到箱体上;

Ø 设备应放在坚固平稳的平面上,并使其保持水平状态;

Ø 安装设备使用空开电源

四.无尘无氧烤箱,PI胶固化烤箱常用规格 

容积

型号

控温范围

电源电压

内胆尺寸(mm)

120L

JS-DFF120

RT-450℃

380V/50Hz

W500*D500*H500

170L

JS-DFF170I

RT-450℃

380V/50Hz

W700*D500*H500

210L

JS-DFF210

RT-450℃

380V/50Hz

W600*D600*H600

280L

JS-DFF280 

RT-450℃

380V/50Hz

W800*D600*H600


注:若无满足型号规格,可提供订制。