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HMDS烘箱,HMDS预处理系统
    发布时间: 2022-04-09 14:58    

一.HMDS烘箱,HMDS预处理系统概述

   HMDS预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,改变了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。适用于硅片、砷化镓、陶瓷、不锈钢、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料预处理及相关行业。

二.HMDS烘箱,HMDS预处理系统特点

预处理性能更好
  
由于是在经过数次的氮气置换,再进行HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰;再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在箱内先经过100℃-200℃的去水烘烤,再进行HMDS处理,不需要从箱内传出,而接触到空气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有更好的处理效果。

处理更加均匀
由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性。

效率高
液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达8盒(4寸)的晶片。

更加节省药液
实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多。

更加环保和安全
HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激胸部、呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染。  

自动吸取HMDS功能
智能型的程式设定,一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑。

三.HMDS预处理的必要性

  在半导体生产工艺中,光刻是集成电路图形转移重要的一个工艺环节,涂胶质量直接影响到光刻的质量,涂胶工艺也显得尤为重要。光刻涂胶工艺中绝大多数光刻胶是疏水的,而硅片表面的羟基和残留的水分子是亲水的,这造成光刻胶和硅片的黏合性较差,尤其是正胶,显影时显影液会侵入光刻胶和硅片的连接处,容易造成漂条、浮胶等,导致光刻图形转移的失败,同时湿法腐蚀容易发生侧向腐蚀。增黏剂HMDS(六甲基二硅氮烷)可以很好地改善这种状况。将HMDS涂到半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃、蓝宝石、晶圆等材料表面后,经烘箱加温可反应生成以硅氧烷为主体的化合物。它成功地将硅片表面由亲水变为疏水,其疏水基可很好地与光刻胶结合,起着偶联剂的作用。

.HMDS烘箱,HMDS预处理系统技术参数

Ø 材质:外箱采用304不锈钢或优质冷轧板喷塑,内箱采用316L医用级不锈钢

Ø 温度范围:RT+10-250℃

Ø 温度分辨率:0.1℃

Ø 温度波动度:≤±0.5

Ø 真空度:≤133pa(1torr)

Ø 洁净度:class 100,设备采用无尘材料,适用100级光刻间净化环境

Ø 电源及总功率:AC 220V±10% / 50HZ /2.5KW    

Ø 控制仪表:人机界面

Ø 搁板层数:2层

Ø HMDS控制可控制HMDS药液的添加量

Ø 真空泵:旋片式油泵无油泵

Ø 保护装置:超温保护,漏电保护,过热保护等

五.HMDS烘箱,HMDS预处理系统结构

加热系统:
由于工艺的整个过程都需要在200℃左右的环境下进行,所以自始至终加热系统都在工作。本系统采用在腔内分布两块独立的热板来实现加热,每个热板都采用人工智能PID调节仪实现闭环控制,调节仪控制固态继电器的输出从而实现温度的精确稳定控制,测温采用通用的高精度热敏电阻Pt100。

真空系统:
由真空泵、真空组件、真空测量等组成,主要作用是置换气体和抽走剩余HMDS蒸汽。

充氮系统:
作用是在置换过程中,用氮气来逐渐稀释空气或药液蒸汽,从而最终替换空气或药液蒸汽的气氛。主要由氮气源、控制阀和喷头组成。

控制系统:
控制模块是本系统的核心模块,它的作用是控制各个模块的动作和时序,完成整个工艺过程。主要由人机界面,CPU控制中心,控制接口和输出部件,报警等5部分组成。人机界面采用触摸屏来实现参数、状态等界面的显示和参数的设定输入。PLC采用三菱系列小型化PLC。

软件控制:
整个控制软件共分4个部分,即自动运行、手动控制、参数设定、帮助。当按下自动运行键后,画面转换到运行画面,显示当前的工艺状态,运行时间等,同时系统开始运行。

六.HMDS烘箱,HMDS预处理系统常用规格

   容积

型号

  控温范围

 电源电压

      内胆尺寸(mm)

42L

JS-HMDS40

RT-250℃

220V/50Hz

W350*D350*H350

90L

JS-HMDS90

RT-250℃

220V/50Hz

W450*D450*H450

210L

JS-HMDS210

RT-250℃

220V/50Hz

W550*D550*H650

730L

JS-HMDS730

RT-250℃

380V/50Hz

W800*D800*H800

注:若无满足型号规格,可提供订制。