智能型HMDS烘箱，HMDS预处理系统用途:

   HMDS 预处理系统通过对烘箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数的控制可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS，降低了HMDS 处理后的硅片接触角，降低了光刻胶的用量，提高光刻胶与硅片的黏附性。

智能型HMDS烘箱，HMDS预处理系统性能参数:

1、设备名称：智能型HMDS烘箱

2、设备型号：JS-HMDS90-AI

3、设备主要技术参数

3.1 工作室尺寸：450×450×450，550×650×550（mm），可自定义 

3.2 材质：外箱材质采用优质冷轧板喷塑，内箱采用316L 医用级不锈钢

3.3 温度范围：RT+10-250℃

3.4 温度分辨率：0.1℃

3.5 温度波动度：＜±1℃

3.6 真空度：≤133pa（1torr）

3.7 洁净度：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境

3.8 电源及总功率：AC 220V±10% / 50HZ 总功率约3.0KW

3.9 控制仪表：人机界面

3.10 搁板层数：2 层

3.11 HMDS 流量控制方式：通过设置充液时间控制HMDS 流量

3.11 真空泵：旋片油泵/进口干泵（全新）

3.12 保护装置：漏电保护，超温保护，HMDS 低液位报警等

智能型HMDS烘箱，HMDS预处理系统特点:

1、预处理性能更好

2、处理更加均匀

3、效率高

4、更加节省药液

5、更加环保和安全

6、低液报警系统

7、自动吸取HMDS功能

8、HMDS气体管路加热系统

9、可自动添加HMDS功能

10、参数记录功能

11、温度程序锁定功能

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