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无氧化烘箱,无氧烤箱
    发布时间: 2021-09-26 13:42    

无氧化烘箱适用于半导体、光电元件、封装测试,所有的Lead PKG、BGA、MCM、光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜,银浆固化、模后固化、电镀退火,基板除潮、晶圆干燥退火等。

无氧化烘箱,无氧烤箱简介:


   无氧化烘箱适用于半导体、光电元件、能原材料、通讯产品、机电产品等作无氧化干燥、固化、焊接、退火等高温处理。封装测试,所有的Lead PKG、BGA、MCM、光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜,银浆固化、模后固化、电镀退火,基板除潮、晶圆干燥退火等。

无氧化烘箱,无氧烤箱特点:

含氧控制:为更好防止产品受潮氧化,配有氧气浓度传感探头,当氧气浓度高于所设定数值时连接制供气设备的电磁阀门自动打开,向箱内自动充氮; 氧气浓度低于所设定数值时,连接供气设备的电磁阀门自动关闭并将实时数据传输到外显示器上;
氮气装置:氮气专用转子流量计,进气端配有氮气减压阀,气源压力及实际充气压力双表指针显示;
含氧量:< 50ppm,30ppm, 20ppm

无氧化烘箱,无氧烤箱技术参数:

温度范围:RT-200℃定点可调

控温精度:±1℃

升温速率:RT-100℃ 约20min
工作室尺寸:
W600*D500*H750(可自定义)

外壳材料:外箱采用SUS304不锈钢或 SS41# 中碳钢板经磷酸皮膜盐处理后两层防光面涂装烤漆,可防止微尘

内胆材料:优质洁净T1.5mmSUS304#镜面不锈钢或国标镜面不锈钢材质,并经碱性苏打水清洁,去油污避免烘烤产生 PARTICLE;

活动层板:配置2层承重型不锈钢冲孔拖盘,可根据实际需要增加

循环系统:强制水平送风循环,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后热风吸入风道成为源再度循环加热,由此减小能量损耗并保证箱内的温度均匀性,当门开、关动作 引起扰动时,可借此送风循环系统迅速回复操作状态温度值

进气系统:数量1个,φ50mm

排气系统:数量1个,φ50mm

温控装置:智能LED双数显高精度温度控制系统(多段程序控制可选),并具有PID自整定,自动恒温等功能

超温保护:内置超温保护仪,超过温度设置上限自动报警并切断加热。

测温装置:采用标准型PT100温度传感器,精确测温,稳定可靠  

定时装置:内置自动定时器,0-99.99小时设定,可预设烘烤时间 

报警装置:恒温时间结束后自动声光报警提示

安全装置:漏电,短路,过载保护;

固态输出:SSR无触点继电器模块,灵敏度高