BCB真空无氧炉  高温固化管式炉应用

   应用于LCP纤维/胶热处理、精密电子元件烘烤、晶圆退火、PI、BCB胶高温固化烘烤、银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.

BCB真空无氧炉  高温固化管式炉技术性能  

1、设备名称: 智能BCB真空无氧炉

2、设备型号: JS-GYZF800-AI

3、设备主要技术参数                                              

3.1 设备尺寸mm: 恒温区Φ185*400mm(可扩展)

3.2  材质 :内箱采用耐高温石英管，外箱采用优质冷轧板喷塑

3.3 温度范围: 100-800℃(可扩展)

3.4 温度均匀度: ≤±3℃, K分度丝.增加管内三点测温热偶， 用于石英管内监控。

3.5 温度波动度: ≤±1℃

3.6 电源: AC 380V±10%/50HZ，27.0KW

3.7 升温速度: 1-15℃/min(可扩展)

3.8降温速率: 1-5℃/min(可扩展)

3.9氧含量: 氧含量≤10ppm,配有氧分析仪，工艺全程检测

3.10 真空度: 极限真空≤10Pa，采用进口（品牌：安捷伦）无油涡旋真空泵

3.11 降温方式: 风冷+水冷

3.12 气体控制 :氮气流量计+减压阀阀，实现最小氮气消耗量

3.13 密封件: 采用耐高温无尘密封圈，具有水冷保护系统

3.14 数据输出: 氧含量监测,温度记录、历史曲线查看(可扩展)

3.15 操作方式 :人机界面+PLC，多段程序运行

3.16 密封性能: 漏气率≤1X10-7Pa ·m3／s

3.17 安全保护:安全的接地保护，超温保护，漏电保护，超温报警、断偶报警、真空故障报警、真空室压力异常报警等