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超强可拉伸纤维应变传感器可用于可穿戴数显恒温加热台
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2022-05-05 | 954 次浏览 | 分享到:

柔性可穿戴电子系统作为新型的便携式电子设备,在人机交互、状态监测、医疗保健等领域具有广泛的应用。性能优越的可穿戴电子系统通常需要坚韧的材料来保证其耐用性和稳定性。由于纤维状的电子材料更易于集成到可穿戴设备中,且具有优良的结构灵活性,从而成为可穿戴电子系统中必不可少的基本组件。然而,制备兼具较高机械强度和优异拉伸性能的纤维材料仍然极具挑战。

西北工业大学黄维院士团队王学文教授课题组与北京理工大学准聘教授宋维涛合作,报道了一种可用于人体健康监测的柔性纤维应变传感器(Adv. Mater. 2022, 2107511)。在这项工作中,研发团队巧妙地利用外层与内芯力学性能耦合的策略,以一种高强度、高弹性的新型聚氨酯(PU)作为导电纤维传感器的内芯,极大的增强了纤维应变传感器的力学性能,实现了同时具备高力学强度和优异拉伸性能的柔性纤维传感器,解决了机械性能与拉伸性能难以兼容的难题。此外,还利用静电纺丝技术实现了不同直径纤维传感器的可控制备,并通过微纤维网络结构以及封装层的共同作用,极大的降低了纤维传感器的恢复迟滞性。


新型纤维应变传感器同时具有优异的应变范围(~700%)和较高的拉伸强度(~17.6 MPa)。在应变检测中表现出高灵敏度和超高的应变分辨率(0.0075%),且可实现对0~40Hz低频振动信号的精准监测。研发团队将高性能纤维应变传感器植入到衣服中,研制了柔性可穿戴智能健康监测系统,该智能电子服装可实现对身体震颤、脉搏、呼吸、手势及6种人体运动姿态的实时监测。该成果将有助于推动健康评估与疾病诊断技术向智能化、高效化、精准化等方向发展,为改进和提升医疗信息传递、处理的效率和质量提供新的思路,促进远程医疗、“无人”医疗、智慧医疗等变革性医疗技术的发展,为智能时代的实现提供重要的技术储备。



数显恒温加热台

数显恒温加热台在光刻工艺的烘烤目的

光刻光刻工艺中需要烘烤的步骤有:预烘培和底漆涂敷、软烘烤、曝光后烘烤、硬烘烤。

软烘烤将光刻胶从液态转变为固态,增强光刻胶在晶体表面的附着力;

PEB(曝光后烘烤)的目的是降低驻波效应;

硬烘烤的目的是除去光刻胶内的残余溶剂、增加光刻胶的强度,并通过进一步的聚合作用改进光刻胶的刻蚀与离子注入的抵抗力,增强了光刻胶的附着力。

数显恒温加热台的用途

  数显恒温加热台用于晶圆的单面烘烤,可用于预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。热板温度稳定度高,重复性好。

数显恒温加热台性能:

加热面积尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制  

控温范围:室温--200、300/400/500/600℃

温度分辨率 :0.1℃     

温度波动度:≤±0.5℃         

温度均匀性:≤±0.5/1℃ 

可选配功能:

支撑pin材料

边缘支撑pin

N2吹扫,无氧化烘烤

烘焙距离可调模组

真空腔体

智能型控制系统