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  • 智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
  • 洁净烘箱,百级无尘烘箱
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快讯:我司精密恒温加热台与国内高科技创新中心合作成功
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2022-04-22 | 602 次浏览 | 分享到:

近日我司精密恒温加热台与国内高科技创新中心合作成功,验收任务完成。

   该中心在柔性电子相关的材料、传感、芯片、电路及算法等研究领域处于领 先水平。还牵头成立了浙江省柔性电子制造业创新中心,已形成了柔性电子技术体系化发展的格局。

    通过国家重大任务牵引,承担大量国 家级重大科研项目,攻关国家战略领域关键技术来服务和支撑柔性电子技术行业的发展。


精密恒温加热台,恒温热板概述:

   用于晶圆的单面烘烤,可用于预烘烤(Pre-bake),前烘(soft bake),底胶涂覆(Primer Vapor)和后烘烤(hardbake坚膜)工艺。适应于半导体硅片,载玻片,晶片,基片,ITO导电玻璃等工艺,制版的表面涂覆后,薄膜烘干,固化。热板温度稳定度高,重复性好。可在工矿企业、科研、教育等单位作生产、科研、教学之用。

精密恒温加热台,恒温热板技术性能

加热面积尺寸:160mm*160mm、220mm*220mm,多尺寸定制  

控温范围:室温--200、300/400/500/600℃

温度分辨率 :0.1℃     

温度波动度:≤±0.5℃         

温度均匀性:≤±0.5/1℃ 

电源输入:AC220V 10A           

加热功率:1500W 

热板表面: 由硬质阳极氧化铝制成