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  • 智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
  • 洁净烘箱,百级无尘烘箱
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芯片真空储存柜,半导体真空氮气柜
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2022-03-09 | 1610 次浏览 | 分享到:

芯片真空储存柜,半导体真空氮气柜
    真空存储柜适用于各类化工原料、贵重金属、金属粉末等各种固体、粉状、糊状、液体,电子产品(半导体、电路板、电子成品、芯片、电池板、电池片、电子元器件、高级金属制品、厌氧产品、易氧化产品等)及机金属加工件与各类不便于冷藏的食品,还有书籍、衣物等厌氧物品的真空存贮,以防潮、防氧化变色。适用于工厂、高等院校、科研等场所。
芯片真空储存柜,半导体真空氮气柜
1、设备名称:
名称: 真空存储柜
2、设备型号:
型号: JS-ZF 
3、设备主要技术参数: 
3.1 尺寸 内尺寸:400mm×400mm×300mm(宽×深×高),单箱
外形尺寸:1250mm×770mm×1650mm(宽×深×高) 
3.2 箱数 四箱体,四开门,独立控制
3.3 材质 内箱采用SUS304不锈钢,内表面镜面抛光,外箱采用优质冷轧板静电喷塑
3.4 温度 无需温度监控及控制
3.5 真空度 ≤10pa,数字显示(单箱指标)
3.6 抽速 从1atm-10Pa时间≤3min(单箱指标)
3.7 漏率 系统的真空漏率<10-7 Pa•L/s(单箱指标)
3.8 电源及功率 AC 220V±10% / 50HZ 总功率约0.8KW 
3.9 操做界面 彩色触摸屏界面,集成式控制,位于箱体上方
3.10分层数 二层(单箱指标)
3.11真空泵 涡旋干泵
3.12 腔门密封圈 采用耐高温硅橡胶密封圈,密封圈采用一体成型无缝加工
3.13 氮气控制 可调式转子氮气流量计