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智能HMDS真空烤箱的特点
来源: | 作者:pmoe43d62 | 发布时间: 2014-04-26 | 1124 次浏览 | 分享到:

自动HMDS预处理系统,智能HMDS真空烤箱的原理:      

   HMDS真空烤箱,自动HMDS预处理系统通过对烤箱预处理过程的工作温度、处理时间、处理时保持时间等参数可以在硅片、基片表面均匀涂布一层HMDS,降低了HMDS处理后的硅片接触角,降低了光刻胶的用量,提高光刻胶与硅片的黏附性。

自动HMDS预处理系统,智能HMDS真空烤箱特点:

1、预处理性能更好,由于是在经过数次的氮气置换再进行的HMDS处理,所以不会有尘埃的干扰,再者,由于该系统是将"去水烘烤"和HMDS处理放在同一道工艺,同一个容器中进行,晶片在容器里先经过100℃-200℃的去水烘烤,再接着进行HMDS处理,不需要从容器里传出,而接触到大气,晶片吸收水分子的机会大大降低,所以有着更好的处理效果。JS-HMDS预处理系统箱体外壳采用高级不锈钢制作,内胆为316L医用专用不锈钢材料制成;加热器均匀分布在内胆外壁四周,内胆内无任何电气配件及易燃易爆装置。钢化、防弹双层玻璃门观察工作室内物体一目了然;

2、处理更加均匀,由于它是以蒸汽的形式涂布到晶片表面上,所以有液态涂布不可比拟更好的均匀性;

3、效率高,液态涂布是单片操作,而本系统一次可以处理多达4盒的晶片,可处理2寸、4寸、6寸、8寸、12寸 晶圆片等;

4、更加节省药液,实践证明,用液态HMDS涂布单片所用的药液比用本系统处理4盒晶片所用药液还多;

5、更加环保和安全,整个系统采用优质材料制造,无发尘材料,适用100级光刻间净化环境。HMDS是有毒化学药品,人吸入后会出现反胃、呕吐、腹痛、刺激呼吸道等,由于整个过程是在密闭的环境下完成的,所以不会有人接触到药液及其蒸汽,也就更加安全,它的尾气是直接由机械泵抽到尾气处理机,所以也不会对环境造成污染;

6、JS-HMDS预处理系统带有可自动吸取添加HMDS功能,智能型的程式设定,一键完成作业。HMDS气体密闭式自动吸取添加设计,真空箱密封性能佳,确保HMDS气体无外漏顾虑;
7、HMDS预处理系统具有低液位报警功能;
8、HMDS烘箱可储液罐自动添加HMDS药液,无需人工添加;
9、HMDS真空烘箱配有检测药液泄漏功能,以保障工作人员的健康、安全。

自动HMDS预处理系统,智能HMDS真空烤箱技术参数:

电源电压:AC 220V±10%/50Hz±2%

输入功率:2000W

温度范围:RT+10℃-250℃

温度分辨率:0.1℃

温度波动度:±0.5℃

达到真空度:133Pa

工作室尺寸(mm):450*450*450,550*550*300(可定做)

搁板层数:2层

真空泵:旋片式油泵(可选配无油干泵)