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智能型无尘无氧烘箱(厌氧洁净烘箱)功能解析
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2012-01-05 | 744 次浏览 | 分享到:
智能型无尘无氧烘箱(厌氧洁净烘箱)适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB 板、ITO 玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.用于企业生产、科研或高校实验室等工艺。

智能型无尘无氧烘箱(厌氧洁净烘箱)主要应用范围:

   应用于精密电子元件、PI、BCB 胶高温固化烘烤、银胶固化、光刻胶固化、电子陶瓷材料、硅片退火、玻璃退火、无尘烘干的特殊工艺要求,适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB 板、ITO 玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.用于企业生产、科研或高校实验室等工艺。

智能型无尘无氧烘箱(厌氧洁净烘箱)的性能:

设备型号:JS-隽思自定义

设备内尺寸(mm):350*350*350,500*500*500,600*600*800,多尺寸定制

样品尺寸(mm):定制提供

箱体结构:立式,单/双开门

内腔材质(mm):加厚耐高温304不锈钢

保温结构:六面保温

保温材质:高密度陶瓷纤维

系统控制:触摸屏(PLC),可定制、程式运行

循环热风:加热器置于箱内,温控探头置于出风口处

调温片功能:增加调温片设计,调节温度均匀性

安全锁:加装箱门互锁装置(避免人员随意开门),烘烤作业起动时,箱门不能打开。

内腔测温:内腔出风口加多点温度监测,温控曲线可储存和提取

搬运滚轮:烤箱左右两侧各加装2对滚轮,便于设备定位时搬移

内循环风过滤:入风口装有耐高温高效过滤器

智能型无尘无氧烘箱(厌氧洁净烘箱)的主要指标:

监测腔内氧气含量:通入氮气降低氧气含量使其低于20ppm

控温精度(℃):0.5

温度均匀度:依据测试方法确定

温度范围(℃):常温+50~200/300/400/500可调

升温速率(℃):线性升温1-12℃/min可调,可定制15/min

降温速率:辅助降温平均约5/min,可定制线性降温

降温方式:水冷(可选择自然降温)

洁净度:class1000/class100

电源:AC220/380,50/60Hz