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晶圆退火烤箱,500度退火氮气烘箱
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2015-11-18 | 28 次浏览 | 分享到:

晶圆退火烤箱,500度退火氮气烘箱:

      晶圆退火需进行升温处理,升温处理具有多个升温阶段,每个升温阶段相应的升温速率不同,其中,所述多个区域在每个所述升温阶段中的温度不同;对所述多个区域进行保温处理;对多个区域采用氮气保护,该氮气烘箱采用辅助降温方式进行降温处理。

晶圆退火烤箱,500度退火氮气烘箱技术性能:

1 工作室尺寸  W450mm×450mm×H450mm (90L),可定制

2  材质 内箱采用耐高温SUS304不锈钢,外箱采用优质冷轧板喷塑

3 温度范围 RT+50-550℃

4 控温精度  +1

5 温度波动度 ≤±1℃

6 温度均匀度  ≤1.5%

7 洁净度 class100/class1000/无要求

8电源及总功率 AC 380V±10%/50HZ 

9 升温速度  1-10℃/min可调

10降温方式  风冷降温/水冷

11氧含量 氧含量≤50ppm 

12 数据输出 氧含量分析仪,温度记录仪

13操作方式     彩色触摸屏控制,可程式/定制运行

14 样品架   2层不锈钢冲孔托盘