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国产台式扫描电镜,SEM扫描电子显微镜的图像分析
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2020-06-29 | 128 次浏览 | 分享到:

国产台式扫描电镜,SEM扫描电子显微镜的图像分析:

   扫描电镜照片是灰度图像,分为二次电子像和背散射电子像,主要用于表面微观形貌观察或者表面元素分布观察。
   一般二次电子像主要反映样品表面微观形貌,基本和自然光反映的形貌一致,特殊情况需要对比分析。
背散射电子像主要反映样品表面元素分布情况,越亮的区域,原子序数越高。
 
   看表面形貌,电子成像,亮的区域高,暗的区域低。非常薄的薄膜,背散射电子会造成假像。导电性差时,电子积聚也会造成假像。

国产台式扫描电镜,SEM扫描电子显微镜的用途:

   扫描电子显微镜利用细聚焦电子束在样品表面逐点扫描,与样品相互作用产行各种物理信号,这些信号经检测器接收、放大并转换成调制信号,最后在荧光屏上显示反映样品表面 各种特征的图像。扫描电镜具有景深大、图像立体感强、放大倍数范围大、连续可调、分辨 率高、样品室空间大且样品制备简单等特点,是进行样品表面研究的有效分析工具。
    目前, 扫描电子显微镜已被广泛应用于生命科学(主要用来观察生物体,微生物,组织器官等)、物理学、化学、电子(在电子学研究中,扫描电镜主要可以用来观测及分析半导体、数据存储材料、太阳能电池、LED、元器件、PCB板及MEMS器件等的形态或缺陷)、地球科学、材料学(在材料研究、地质、半导体和微电子、汽车、航空航天等相关行业的研究和生产中,扫描电镜发挥着巨大的作用)以及工业生产等领域的微观研究, 仅在地球科学方面就包括了结晶学、矿物学、矿床学、沉积学、地球化学、宝石学、微体古生物、天文地质、油气地质、工程地质和构造地质等。