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无氧烘箱的保修与维修
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2018-06-23 | 3220 次浏览 | 分享到:

无氧烘箱的故障及排出方法:

A:开机无显示  
 
1.  确认设备急停开关是否复位;
 2.  应先检查外部电源是否正常供电;
3.  检查设备保险丝、检查无熔丝开关是否不良。
B:温度控制部分
 
1. 请先确认温度控制器设定是否正确;
2. 有不正常超温指示时,检查超温防止保护器设定是否错误,或温度控制器AL设定错;
3. 温度失控时,检查电磁接触器是否接触不良;
4. 温度失控时, 检查固态继电器SSR是否故障;
C:氧含量值无法达到目标值
1.开机后氧分析仪热机时间是否足够;
2.氮气源是否正常,如压力偏小等;
3.氧分析仪测试泵是否运行;
4.如有真空功能,真空泵是否启动;
无氧烘箱的保养:
1. 使用高温时及时打开冷却循环水

2. 真空泵定期保养;
3. 请勿长时间使用设备极限温度值;
4. 定期维护氧分析仪;
5. 定期检查设备电气元件,有无松动;

无氧烘箱的应用:
      
无氧烘箱应用于精密电子元件、PCB板无氧烘烤、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,形成高温、低氧(无氧)、洁净环境,特别适合半导体制造、COB封装、IC封装、石英玻璃、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具煺火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求,广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。

无氧烘箱的技术性能:
腔体个数:单腔体、双腔体、三腔体、四腔体、六腔体均可定制

控制方式:人机界面/触摸屏/LED按键式

控温范围:RT+50-300(400、500)℃
温度分辨率:0.1℃
温度波动度:<±2℃
升温速率:0-10℃/min
降温方式:自然降温/风冷式/水冷式
运行方式:定值式/可程式
氧浓度:≤20/50/100ppm

洁净度:class100(选配)

智能部分:扫码枪、MES智能控制等