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洁净烘箱,程控式洁净烘箱分解
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2013-05-26 | 2729 次浏览 | 分享到:


洁净烘箱,程控式洁净烘箱配置:

      烘箱内配有高效过滤器,过滤器滤料为超细玻璃纤维滤纸,孔隙非常小。采用很低的滤速, 增强了对小尘粒的筛滤作用和扩散作用,所以具有很高的过滤效率。

烘箱采用彩色触摸屏操作,可设定程序式(曲线式)升温,升温时间可设定,恒温时间可自定义。可设定恒定值运行,运行时间可设定。

       洁净烘箱用于医疗、半导体、光电元件、IC测试、LED芯片、治具烘烤等作无氧化干燥、固化、老化等高温处理。封装测试所有的LeadPKG、BGA、MCM;光刻工艺有机聚合物膜预固化、坚膜等工艺。

洁净烘箱,程控式洁净烘箱指标:

1、无尘等级:Class100;    

2、 温度均匀度:±2℃;    

3、 温度波动度:±1℃;        

4、 温控精度:±0.1℃;

5、温度范围:RT-200/300/400

6、内部尺寸(mm):450*450*450/500*500*600/1000*1000*100/1500*1800*1200可自定

7、材质:304不锈钢

洁净烘箱,程控式洁净烘箱选择项:

洁净烘箱可附加低氧功能,氧浓度检测,无尘无氧烘箱;

高温洁净烘箱可增加辅助降温功能,水冷或风冷降温;

洁净烘箱可叠加或多腔室合并,双层洁净烘箱,四箱式八箱式洁净烘箱;

智能型洁净烘箱,配有MES智能控制,具有扫码枪、MES数据库等智能化操作功能。