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精密无氧化烘箱剖析
来源: | 作者:隽思半导体设备部 | 发布时间: 2018-05-12 | 2485 次浏览 | 分享到:

精密无氧烘箱的名称
     无氧烘箱也称为无氧化烘烤(烤)箱、防氧化烘箱、厌氧烘(烤)箱,无尘无氧烘(烤)箱,高温固化烘箱等。主要是提供一种高温且氧含量很低的烘烤空间,防止产品在高温烘烤、固化等工艺时产生氧化。
精密无氧烘箱的原理:
无氧:采用惰性气体(常用氮气)置换腔内气体,达到氧浓度极低的环境;具有氧含量分析仪,全程检测氧含量值,实时显示
         并 记录。

高温:电加热器提供高温的环境;
降温:水冷、风冷可单独采用一种或两种降温方式辅助降温,使得降温速率加快,提高生产效率,节约时间;
操作:无氧烘箱采用人机交互+PLC的控制方式,智能、快速、一键操作方式。
精密无氧烘箱的技术性能:
内部大小:常用 W500mm×500mm×H500mm ,多尺寸可选择、可定制
材料:  外部箱冷轧板喷塑,内箱国际SUS304不锈钢
温度指标:  100-400/500℃
温度精度:  0.1℃
波动度:≤±1℃
均匀度: ≤1.5%℃
洁净能力:可选class100,百级洁净度   
低氧指标:  氧含量≤ 20ppm  
数据记录:  氧含量记录,多点温度记录
智能操作: 人机界面+PLC,可程式/定制运行,大屏显示、一键操作
产品支架: 2层