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有降温功能真空烘箱,快速降温真空烤箱的使用
来源: | 作者:隽思半导体烘烤 | 发布时间: 2018-06-15 | 396 次浏览 | 分享到:

      有降温功能真空烘箱,快速降温真空烤箱可快速降温,提高生产效率;充氮气降低氧浓度,防止产品在高温状态被氧化。用于键合预处理,晶圆,芯片,电容,电池,封装,光刻胶固化,PI固化,无氧化烘烤等。
有降温功能真空烘箱,快速降温真空烤箱
控制系统:

具备参数设定、工艺程序编写功能,工艺过程可保存并输出;

工艺结束提示音;

触摸屏

PLC控制器

运行程式可保存不少于5个工艺菜单。

材质

(1)内部为304或316材质;

(2)外部材质:优质冷轧板喷塑;

(3)硅橡胶密封;

(4)内部采用圆角结构。

(5)冷却水管材质:金属水管和其他。 

内部尺寸:长×宽×高=600mm×500mm×500mm

腔门:带有观察窗。

搁架:配有不锈钢的托盘;

真空控制系统

(1)配备数字真空控制器,显示腔内相对压强;

(2)配备干泵、真空检测和显示系统,真空压力可控;

(3)真空泵:油泵或干泵

温度控制系统

(1)可编程多段升温程序;

(2)具备温度校准功能。

安全保护系统

(1)接地保护装置;

(2)超温报警及保护装置;

(3)加热器短路保护装置;

(4)压力低压报警;

配有三色指示灯及蜂鸣器提示机台运行状态。

有降温功能真空烘箱,快速降温真空烤箱技术指标:

真空

(1)工艺真空度:≤133pa;

(3)通过真空电磁阀可实现真空度的控制。

温度

(1)温度范围:室温至300℃;

(2)温度调节精度:≤±0.5℃;

(3)温度稳定度:≤1℃;

(4)温度波动度:≤1℃;

(5)降温至室温时间:<60min;

(6)升温至200℃时间:<30min;

(7)可编程进行多段升温。

洁净度

可达class100(使用环境100级)