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洁净烤箱,10/100/1000级洁净烤箱等级标准
来源:上海隽思实验仪有限公 | 作者:上海隽思半导体设备 | 发布时间: 2017-07-13 | 942 次浏览 | 分享到:
洁净度等级有国际标准就是ISO,还有国内标准,10/100/1000级属于国内标准。10/100/1000的意思是:每立方米空气内含有微粒(微粒直径大于等于0.1微米的最大个数。例如,100级就是粒径大于等于0.1微米的最大微粒数不能大于100个。  
国标与ISO标准相对应: 10级相当于ISO4级,100级相当与ISO5级,1000级相当于ISO6级。

级洁净烤箱用途:
  级洁净烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

级洁净烤箱特点:
1.在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100
2.全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
3.采平面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100
4.强制送风循环方式。双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到最佳温度控制精度
级洁净烤箱产品技术参数:

   无尘等级:Class 100; 可自定义10/1000级    

 温度范围:RT+10200℃;最高温度可自定义
   温度均匀度:±2℃;    

 温度波动度:±0.5℃(空载)        
   温控精度:±0.1℃;        

 工作尺寸:W800×D800×H1000mm)可自定义         
   电源:380v , 50Hz,20KW    

 网板:2块(高度可调节)

 洁净度100级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与100级洁净度。最小限度控制风速距离。