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  • 智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
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配有HMDS气体检测的HMDS烘箱有吗
来源: | 作者:隽思环境半导体设备部 | 发布时间: 2023-10-26 | 300 次浏览 | 分享到:

配有HMDS气体检测的HMDS烘箱

      HMDS烘箱用于光刻前基板的疏水性处理工艺。它是将HMDS(六甲基二硅胺烷)通过气相沉积的方法均匀的涂布在基底表面,使基底表面接触角增大,基底表面由亲水性变为疏水性,就会增强光刻胶的粘附性。避免了显影后光刻胶漂胶、裂胶的不良现象。

但是HMDS具有一定的伤害性,大量吸入会刺激与灼伤鼻子与呼吸道器官系统,会产生头痛、呼吸困难、呼吸急销迟促、咳嗽以及眼睛红肿并感到眼睛来自刺痛与灼伤。所以,在使用过程中的安全性不容忽视。

我司HMDS烘箱独特的设计原理,使得整个工艺过程都在密闭的回路中完成,并有效排出残余气体,同时具有HMDS实时监测功能,具有泄露报J提示音。

温度范围:RT+10-200℃

真空度:≤1torr

操作方式:一键运行 

真空泵:无油涡旋真空泵

容积:40L/90L/210L,可定制

产品兼容性:2~12寸晶圆及碎片、方片等

适用行业:MEMS、滤波、放大、功率等器件,晶圆、玻璃、贵金属,SiC(碳化硅)、GaN(氮化镓)、ZnO(氧化锌)、GaO(氧化镓)、金刚石等第三代半导体材料。