洁净烘箱，百级洁净烘箱用途:
  百级洁净烘箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤；也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门；也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。

洁净烘箱，百级洁净烘箱特点：
1.在普通环境下使用，能够确保烘箱内部等级达到Class 100；
2.全周氩焊，耐高温硅胶破紧，SUS304#不锈钢电热生产器，防机台本身所产生微尘；
3.采用垂直送风热风循环系统，风源由循环马达运转带动风轮经电热器，将热风由风道送至烤箱内部，且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热，省电节能温度均匀性好，过滤效率99.99%，Class 100；
4.强制送风循环方式，双风道循环结构，温度场分布均匀，智能P.I.D温控系统，得到最佳温度控制精度。

洁净烘箱，百级洁净烘箱技术参数：

1.主要技术指标：
 内箱材质：SUS304镜面不锈钢；

外箱材质：优质冷轧板喷塑；

无尘等级：Class 100;     

温度范围：RT+10～250℃；
 温度均匀度：≤±2%;    

温度波动度：±0.5℃（空载）；        
 温控精度：±0.1℃;

氮气控制：φ8mmN2进气，0-100L可调流量计控制;