北京空间机电研究所潘卫军研究员课题组在《航天返回与遥感》期刊上发表了以“基于量子成像的下一代甚高灵敏度图像传感器技术”为主题的文章。潘卫军研究员主要从事图像传感器设计与应用的研究工作。

这项研究围绕具有单光子分辨能力的量子CMOS图像传感器这一新型甚高灵敏度图像传感器，从单光子探测的噪声特性以及固态图像传感器的高灵敏技术机理出发，对实现甚高灵敏性能的关键技术进行了介绍；在此基础上，详细论述了量子CMOS图像传感器的技术发展历史，并将量子CMOS图像传感器与其他主流单光子探测传感器的性能进行了对比，总结分析了未来量子CMOS图像传感器技术的发展趋势，最后针对不同的航天遥感应用需求，分析并展望了量子CMOS图像传感器的应用模式及应用特点。

在固态图像传感器领域，CMOS图像传感器技术的发展大致经历了三次技术飞跃：第一次为无源像素到有源像素的发展；第二次为科学级CMOS图像传感器的发展；第三次是量子CMOS图像传感器的发展。量子CMOS图像传感器的关键技术主要有深亚飞法低浮置扩散（FD）电容技术、跨导变积分放大技术以及列级相关多采样（CMS）技术等。

深亚飞法级小电容技术

量子CMOS图像传感器技术的重大突破，给高灵敏图像传感器在航天遥感应用领域中的应用格局带来重大变化。因此，应当积极提前布局，一方面深入研究量子CMOS图像传感器的技术特点，另一方面，结合航天遥感应用的需求特点，在拓展应用领域、提升应用水平方面，寻求与量子CMOS图像传感器技术优势的契合，实现我国航天光学遥感器技术水平的跨越式发展。

CMOS洁净烘箱

CMOS洁净烘箱，程控式洁净箱特点

超洁净H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100

采用液晶触摸屏温度控制器，内置曲线查询、PID自整定、高温上限报警

运行方式：定值、程式，中、英文操作。

CMOS洁净烘箱，程控式洁净箱技术规格：

1 .内腔尺寸

 W450mm×D450mm×H450mm

 W600mm×D600mm×H600mm

 W500mm×D600mm×H700mm

 W700mm×D800mm×H900mm

 W1000mm×D1200mm×H1000mm

多尺寸定制

2 . 材质：外箱采用冷轧板喷塑，内箱采用SUS304不锈钢

3.温度范围：RT+20-400℃，常用温度≤350℃

4.温度分辨率：0.1℃

5 .温度波动度:＜±0.5℃

6. 温度均匀度: ≤±1.5%℃

7.洁净度:class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境

  百级洁净烘箱用于半导体、电子元件高温烘烤、银胶烘烤、光刻胶固化，IC芯片制造预烘烤（软烘）、坚膜烘烤（硬烘）、治具干燥、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等 ，医疗、电子、太阳能、新材料等行业.