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  • 智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
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无氧烘箱,智能双层无氧烘箱
    发布时间: 2021-10-08 08:31    

无氧烘箱,智能双层无氧烘箱概述:
智能无氧烘箱应用于精密电子元件、光刻胶固化、电子陶瓷材料烘干的特殊工艺要求,模拟线性升温环境,特别适合半导体制造、COB封装、医疗卫生、柔性线路板印刷、精密模具退火等行业的无氧化干燥烘烤工艺要求,广泛应用于电子产品、五金制品、医疗卫生、仪器仪表、工厂、高等院校、科研等行业。
无氧烘箱,智能双层无氧烘箱技术参数(以下数据均为单箱参数,每个箱体单独控制、运行)
1.温度范围: RT+10~300/400/500℃;
2.内箱尺寸: 710×610×510mm(W×D×H); 
3.外形尺寸:   约1500×1100×2300mm(W×D×H)
4.材质: 内胆采用SUS304#镜面不锈钢,无缝焊接保护被加工件不受任何污染;外箱采用优质冷轧板喷塑,耐腐蚀、防微尘产生;
5.升温速率(空载):0-15℃/min;
6.降温方式 :自然降温/水冷/风冷
7.加热器: 特制SUS304不锈钢无尘加热器;
8.数据记录功能: 多通道温度记录仪,氧浓度值记录;
9.氧含量: ≤50ppm,实时检测并显示;
10.控温稳定度: ≤±1℃;
11.温度均匀度:≤±1.5%℃(空载);
12.样品架: 每箱2层样品架,不锈钢板冲孔,承重30KG以上;
13.电源/功率: 380V/50HZ,6.5KW
14.控制部分:
     采用人机界面+PLC控制;
     可曲线升、降温模式;
     RKC-PF900温控仪;
     六通道温度检测;
     独立的超温保护控制仪;
15.氮气控制: 装有0-100L/min可调式氮气流量计;
无氧烘箱,智能双层无氧烘箱智能功能:
1.机台配备MES通讯功能;
2.人机界面和PLC,可依使用者区分制程/设备/OP权限;
3.主温控温度实时显示于人机界面;
4.氮气流量显示人机界面,也可在人机界面设定氮气ON/OFF,随RECIPE设定;
5.机台上下箱各配备一台扫描枪;
6.制程条件参数改于人机画面上以表格化方式输入,只要依序输入欲制程条件系统即会自动转入温控器;
7.系统可与客户IT进行连接,可选用条形码上传IT后,接收由IT比对下载制程数据或直接接收IT所下载制程数据方式,系统并自动将制程写入温控器,达到远程制程下载,避免人员制程选择操作错误问题;
8.系统提供主控点温度、六点温度、氮气流量值及设备状态数据可供IT进行连接读取,让客户端可远程随时掌握设备状况;
9.超温防止器与人机连接,随RECIPE设定;
10.具有马达转速侦测功能,且在人机显示转速;
11.人机有异常履历可查询。