扫描电子显微镜，半导体sem显微镜的作用：
由于半导体器件体积小、重量轻、寿命长、功率损耗小、机械性能好. 因而适用的范闸极广。然而半导体器件的性能和稳定性在很大程度上受它表面的微观状态的影响。
1.质量监控与工艺诊断
2. 器件分析
3.失效分析和可靠性研究
4.电子材料研制分析
5. 这对检测和研制真空微电子二极管是极其有用的。
6.可控制中子辐射损伤和选用合适的退火工艺消除内部缺陷，提高 NTD 硅单晶质量。
7.半导体材料中的动力学现象
扫描电子显微镜，半导体sem显微镜的性能：
放大倍数：60000x /150000x
加速电压：500V - 15kV
电子源:预对中钨灯丝
聚光镜:两级电磁变焦聚光镜
样品台:X-Y两轴自动样品台
样品台移动范围:30mm×30mm
标准配置：
背散射电子探测器
二次电极探测器
CCD光学导航
