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对待每一

做到极致认真

每一个零件

每一组数据

  • 智能型HMDS真空系统(JS-HMDS90-AI)
  • 洁净烘箱,百级无尘烘箱
  • 氮气烘箱,精密充氮烘箱
  • LCP热处理烘箱,LCP纤维氮气烘箱
  • 热风循环真空烘箱,高温热风真空烤箱
  • HMDS预处理系统(JS-HMDS90 )
  • 智能型无尘无氧烘箱(PI烤箱)
  • 真空无氧固化炉,高温无氧烘箱
  • 精密烤胶台,高精度烘胶机
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产  品  中  心

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无尘烘箱,MES无尘烘箱
    发布时间: 2021-09-26 13:42    

用途

用于IC,晶圆等电子、半导体、医疗行业高洁净度烘烤制程工艺

温度范围

室温+10℃~250

温度波动度

温温度波动±0.5

温度均匀度

计算方法:设定150,6点测温,(max-min)/min3.5%

工作室尺寸mm

450(深)*450(宽)*600(高)可自定

洁净度(class

Class100

气体过滤

有气体过滤装置,保证腔体内洁净度为100

隔板要求

每个腔体配二个隔板,用不锈钢板冲孔制成

箱体外壁材料

冷轧钢板静电喷塑(SUS304

箱体内壁材料

为不锈钢板内壁氩弧焊(SUS316SUS304

保温材料

优质超细纳米玻璃棉

氮气接口

能将箱内空气排出,确保烘烤的硅片是在氮气中进行

控制方式

人机界面+PLC控制

氮气流量

0.3~0.5M3/H(可调,可选择具有流量偏低/偏高报警功能,并实时监控记录曲线)

超温保护

采用独立的超温保护装置,确保温度不超限;当保护装置动作时超温保护装置自动切断加热电源并进行声光报警、控制仪采用LED显示且可调

计时方式

温度达到制程设定值后开始计时.

排风口

直径50mm的排风口,且安装有调节风阀

电气安全保护

风机过载保护加热系统超温保护电磁门锁保护、安全接地保护.

MES软件

可连接MES系统

作业时扫码可实现自动调取所需作业程序,作业员只需确认是否正确

自动记录作业累计作业批号,作业人员,作业起止日期及时间,作业温度曲线,作业条件,可自动生成Excel报表

有权限操作员需扫码后才可操作此设备,且自动记录作业人员