一．无尘无氧烤箱，智能无尘无氧烤箱概述
无尘无氧烤箱，智能无尘无氧烤箱应用于精密电子元件、PI、BCB胶高温固化烘烤、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求，适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业.智能无氧烤箱可以使用TCP / IP（使用HSMS标准，SEMI E37）或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息进行监控和控制。
智能制造主要指生产线现场的生产过程管理、现场监控和控制等，包括智能工厂生产过程的数据采集及分析，实现生产过程、设备、资源监控的可操作和可视化；要能支持采集不同现场设备数据的要求，支持将生产数据及设备故障信息显示在监控站的屏幕上，实现生产过程的动态监控与管理；实现智能设备、机器人和生产线、用户全流程互联对话，实现人机、机机互联下的高品质、高效、柔性自动化生产等。
二．无尘无氧烤箱，智能无尘无氧烤箱技术参数
1.主要技术指标
Ø 材质：外箱采用优质不锈钢，内箱采用SUS304不锈钢
Ø 温度范围：RT+10-200/450℃
Ø 温度分辨率：0.1℃
Ø 温度波动度：＜±1℃
Ø 温度均匀度：≤±2%
Ø 洁净度：class 100，设备采用无尘材料，适用100级光刻间净化环境
Ø 升温时间：5-8℃/min，（空箱测试）
Ø 降温时间：可满足130℃-50℃，降温5℃/min（空箱测试）
Ø 氧含量
高温状态氧含量：≤ 20ppm +气源氧含量
低温状态氧含量：≤ 50ppm +气源氧含量
Ø 数据输出：温度和氧含量无纸记录仪
2.系统结构
Ø 热风循环系统：采用进口覆套式电热器（SHEATHED HEATER）无尘无氧化电热发生器
箱体后部装有离心循环风机、氮气进气口和排气口，离心风机将箱内加热的热风与进气口的新鲜氮气混合，一部分气体混合烘干处理产生的废气物从排气口排出，大部分气体进入箱体两侧的循环风道，携带加热器产生的热量，进入箱体内对产品进行加热烘烤，然后由离心风机重新吸回，从而往返循环
Ø 气体系统：爱美克H.E.P.A，(特殊风道设计)过滤效果可达99.99%,Class100
箱体内装有氧含量分析仪，全称检测氧含量，并记录数据排气口采用自动风门设计以达到强烈的循环效果及快速降温，进气口加附N2流量计控制进气量，入气口10mm氧含量可达到40PPM以下
Ø 水冷系统：翅片式水冷散热器，当箱体内部温度低于200℃时，冷却水通过散热器快速带走更多的热量，使得箱内温度快速下降，缩短降温时间，提高生产效率水冷电机，设有低水压报警，防止电机过热损坏水套水冷，设有低水压报警，防止密封圈过热损坏及老化
Ø 温控系统：采用日本RKC-PF900温度控制器，内置斜率设定、PID自整定、高温上限报警、热电偶失效指示等多种功能采用日本横河六通道巡回检测，有纸记录仪，可将烤箱内实时环境温度进行检测打印
Ø 软件系统：控制系统采用日本三菱公司FX3G系列高速型逻辑控制器，可与现场总线联机远程操控
Ø SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中，接口可以启动和停止设备处理，收集测量数据，更改变量并为产品选择配方。 SECS（SEMI设备通信标准）/ GEM（通用设备模型）标准以确定的方式完成所有这些工作。
3. 安全保护性能
Ø 报警功能： 1）三色报警灯 2） 超温报警 3）热电偶故障报警 4）低水压报警
Ø 安保功能：1）短路保护
2）漏电保护
3）超温保护，独立感温式超温保护器
4）电机保护，电机过电流、水冷保护
5）电磁门禁保护，当温度超过100℃，电子锁自动锁紧，防止高温开门
三、无尘无氧烤箱，智能无尘无氧烤箱安装条件
Ø 环境温、湿度5℃～＋35℃，相对湿度：≤85%；
Ø 周围无强烈震动；
Ø 无阳光直接照射或其它热源直接辐射，
Ø 周围无强烈电磁场影响；
Ø 周围无高浓度粉尘及腐蚀性物质；
Ø 百级洁净车间；
Ø 周围无强烈气流，当周围空气需要强制流动时，气流不应在直接吹到箱体上；
Ø 设备应放在坚固平稳的平面上，并使其保持水平状态；
Ø 安装设备使用空开电源 ；
四．无尘无氧烤箱，智能无尘无氧烤箱运行监控分析技术
智能无尘无氧烤箱运行监控分析技术，通过物联网向制造企业提供针对产品的远程智能服务，包括远程监控、远程预警、远程维护、数据分析等。智能服务拓展到产品的全生命周期管理。产品智能化服务系统包括产品远程监护与维护平台、基于大数据挖掘的产品使用分析系统、智能手机APP自助服务系统，实现功能包括以下几类：
● 对各类产品的多种数据进行采集、存储；
● 及时分析用户使用典型行为；
● 为客户提供优化解决方案及实时监控产品使用情况的综合服务；
● 产品智能化服务的成功应用可以大大提高工作效率，服务维护成本显著降低，产品差异化程度提升。
