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光刻胶高温固化烤箱,半导体高温烤箱
    发布时间: 2021-09-26 13:42    
光刻胶高温固化烤箱,半导体高温烤箱应用于精密电子元件、光刻胶固化、电子陶瓷材料无尘烘干的特殊工艺要求,箱内空气封闭自循环,经耐高温高效空气过滤器(100级)反复过滤,使烘箱工作室内处于无尘状态。无尘烤箱工作室为不锈钢结构。适用于触摸屏、晶圆、LED、PCB板、ITO玻璃等精密电子、太阳能、新材料等行业。
光刻胶高温固化烤箱,半导体高温烤箱主要特点如下:
1.采用特制耐高温长轴型马达及强力多翼式风叶,强力吸风式机构使得均匀分布温度,安静低噪音,节约能源;
2.箱体选用全陶瓷纤维保温,具有升温快、节能等特点;
3.吸风口玻纤过滤器,确保洁净度的要求。
满足标准:
1.11158-1989高温试验箱技术条件
2.2423.2-1989试验B
光刻胶高温固化烤箱,半导体高温烤箱基本配置:
1. 温度范围:RT~450℃;
2. 内箱尺寸:800×600×600mm(W×H×D)、700*500*500(可选);
3. 箱体数:2个,上下布置,可定做;
4. 内胆材质:SUS321镜面不锈钢,无缝焊接保护被加工件不受任何污染;
5. 升温时间(空载):1.5h;
6. 降温时间(空载):300℃-50℃降温时间1.5-3.5小时(采用水冷翅片散热器);
7. 加热器:特制无尘加热器;
8. 温度和氧含量记录:进口无纸记录仪;
9.标准配件高效99.97%(0.3 μ )微粒空气过滤器、微差压力剂、计时器、可调隔层板、单段式温度控制器
光刻胶高温固化烤箱,半导体高温烤箱氧含量:
1. 高温状态氧含量:≤ 10ppm +气源氧含量;
2. 低温状态氧含量:≤ 20ppm +气源氧含量
3. 控温稳定度:±1℃;温度均匀度:±10℃(400℃平台);
光刻胶高温固化烤箱,半导体高温烤箱输出控制:
1. 配置PLC,可实现多事件输出控制气氛、水等开关和报警;
2. 控制:上下炉腔可单独控温、通气、报警保护;
3. 控温仪表:日本岛电FP93温控仪;
4. 控温段数:4×10段;控温点数:2点;
5. 超温报警点数:2点;检测点数:2点;
6. 报警保护:超温、断偶等声光报警保护;超温保护:独立感温式超温保护器;电机保护:电机过电流、水冷保护; 表
 面
温升:<30℃;