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精密热板,高精度烤胶机
    发布时间: 2018-08-05 14:48    
精密热板,高精度烤胶机简介:
     精密热板用于固化光刻胶,固化环氧塑脂,可用于显微镜下使用以及其它需要高精度控温的场合等。在电子、化工等行业的工矿企业、科研、教育等单位,进行热老化、温度试验及干燥、烘焙、消毒和热处理等试验中常见。主要应用于科研实验,用于最大直径φ150mm晶圆或¨150mm方片的烘烤工艺,手动上下料、自动烘烤作业。
精密热板,高精度烤胶机技术参数:
温度加热范围: 50℃-200℃;
表面温度均匀性:
      50 ~ 120℃  R≤±0.5℃
      121 ~ 150℃  R≤±0.75℃
      151 ~ 200℃  R≤±1.0℃;
适用基片尺寸: 4、6寸晶圆及小于150mm方片 ;
温度控制器:P.I.D温度控制,高亮度4位数字LED显示温度
控温精度: 0.1℃;
配置定时器,可编程定时控制 
配置真空端口,可使基片和热板紧密接触 ;
惰性气体:可充氮气控制
电源:220V,50/60Hz;;
外形尺寸:350×350×530mm。
上一个: