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无尘烤箱,智能无尘烤箱
    发布时间: 2018-05-09 10:28    

一.无尘烤箱,智能无尘烤箱概述
       智能制造主要指生产线现场的生产过程管理、现场监控和控制等,包括智能工厂生产过程的数据采集及分析,实现生产过程、设备、资源监控的可操作和可视化;要能支持采集不同现场设备数据的要求,支持将生产数据及设备故障信息显示在监控站的屏幕上,实现生产过程的动态监控与管理;实现智能设备、机器人和生产线、用户全流程互联对话,实现人机、机机互联下的高品质、高效、柔性自动化生产等。
      无尘烤箱用于半导体制造中硅片、砷化镓、铌酸锂、玻璃等材料涂胶前的预处理烘烤、涂胶后坚膜烘烤和显影后的高温烘烤;也适用于电子液晶显示、LCD、CMOS、IS、医药、实验室等生产及科研部门;也可用于非挥发性及非易燃易爆物品的干燥、热处理、老化等其他高温试验。设备可以使用TCP / IP(使用HSMS标准,SEMI E37)或基于RS-232的协议与支持GEM的主机进行通信。通常这两种协议都受支持。每台设备都可以使用由GEM指定的通用SECS-II消息进行监控和控制。
二.无尘烤箱,智能无尘烤箱特点
1、 SECS / GEM是用于设备到主机数据通信的半导体设备接口协议。在自动化工厂中,接口可以启动和停止设备处理,收集测量数据,更改变量并为产品选择配方。 SECS(SEMI设备通信标准)/ GEM(通用设备模型)标准以确定的方式完成所有这些工作。
2、 在普通环境下使用,能够确保烘箱内部等级达到Class 100/10;
3、 全周氩焊,耐高温硅胶破紧,SUS304#不锈钢电热生产器,防机台本身所产生微尘;
4、 采用单面水平由后向前送风热风循环系统,风源由循环马达运转带动风轮经电热器,将热风由风道送至烤箱内部,且将使用后空气吸入风道成为风源再度循环加热,省电节能温度均匀性好,过滤效率99.99%,Class 100/10;
5、 强制送风循环方式,双风道循环结构,温度场分布均匀,智能P.I.D温控系统,得到最佳温度控制精度。
三.无尘烤箱,智能无尘烤箱技术参数
1、 无尘等级:Class 100/10;    
2、温度均匀度:±2℃;    
3、 温度波动度:±0.5℃(空载);        
4、 温控精度:±0.1℃;
5、 洁净度:100/10级的洁净热处理HEPA过滤器与前出风水平层对流循环方式实现并保证箱内的温度分布的均匀性与洁净度。
四.无尘烤箱,智能无尘烤箱运行监控分析技术
       智能无尘烤箱运行监控分析技术,通过物联网向制造企业提供针对产品的远程智能服务,包括远程监控、远程预警、远程维护、数据分析等。智能服务拓展到产品的全生命周期管理。产品智能化服务系统包括产品远程监护与维护平台、基于大数据挖掘的产品使用分析系统、智能手机APP自助服务系统,实现功能包括以下几类:
●  对各类产品的上多种数据进行采集、存储;
●  及时分析用户使用典型行为;
● 为客户提供优化解决方案及实时监控产品使用情况的综合服务;
● 产品智能化服务的成功应用可以大大提高工作效率,服务维护成本显著降低,产品差异化程度提升。